多晶硅工藝
● 改良西門子法-閉環(huán)式三氯氫硅氫還原法
氯化氫和工業(yè)硅粉在一定溫度下合成三氯氫硅，然后對三氯氫硅分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅。
工序有：合成-提純-還原-尾氣回收-氫化和后處理。
● 硅烷法-硅烷熱分解法（美國Asimi和SGS)
硅烷SiH4是經(jīng)過四氯化硅氫化法，硅合金分解法，氫化物還原法，硅的直接氫化法等方法制取，然后將制得的硅烷氣提純后在熱分解爐中生產(chǎn)棒狀高純度多晶硅。
● 流化床法
四氯化硅，氫氣，氯化氫和工業(yè)硅在流化床內(nèi)高溫高壓下反應(yīng)生產(chǎn)三氯氫硅，進(jìn)一步歧化加氫生成二氯二氫硅，繼而生成硅烷氣，通入到加入小顆粒硅粉的流化床反應(yīng)爐內(nèi)加熱分解反應(yīng)，生成粒狀多晶硅產(chǎn)品。
多晶硅用閥門
● 波紋管閥門：調(diào)節(jié)閥、截止閥
● HAST C或 Monel
● O型切斷球閥
● 耐磨球閥閥球和閥座采用粉末碳化鎢高速噴射或整體碳化鎢，用于硅粉輸送
● 襯氟閥門
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